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J-GLOBAL ID:201802212551950167   整理番号:18A1669739

リザーバ構造配線におけるボイドとヒロックの形成を考慮したエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度の評価

著者 (4件):
資料名:
巻: 28th  ページ: 157-160  発行年: 2018年09月06日 
JST資料番号: X0060A  ISSN: 2434-396X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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集積回路一般  ,  固体デバイス計測・試験・信頼性 

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