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J-GLOBAL ID:201802212656166076   整理番号:18A0191790

マイクロスケール圧電片持梁の解析へのCOMSOLアプローチ:固有周波数に及ぼす寸法パラメータの影響【Powered by NICT】

A COMSOL approach to the analysis of a micro-scale piezoelectric cantilever beam: The effect of dimension parameters on the eigen frequency
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: i-PACT  ページ: 1-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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固有周波数は,マイクロスケール圧電片持梁を設計する際考慮すべき最も重要なシステム応答の一つである。本論文では,固有振動数に及ぼすマイクロスケール圧電片持梁の寸法パラメータの影響を調査,分析した。梁はシリコンで作られたと仮定した。構造力学に基づく有限要素解析を研究のためにCOMSOLマルチフィジックスソフトウェアの環境で行われている。は長さと厚さが固有振動数に及ぼす連続効果を持っていると思われるが,幅の影響は不連続である。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
分類
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固体の機械的性質一般  ,  振動の励起・発生・測定 

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