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J-GLOBAL ID:201802212708646869   整理番号:18A1039712

ミニチャネルにおける三次元銀-ポリジメチルシロキサン(Ag-PDMS)マイクロブリッジの作製と熱抵抗挙動のキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and thermoresistive behavior characterization of three-dimensional silver-polydimethylsiloxane (Ag-PDMS) microbridges in a mini-channel
著者 (6件):
資料名:
巻: 277  ページ: 43-51  発行年: 2018年 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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マイクロピラーのようなポリジメチルシロキサン(PDMS)微細構造は,マイクロ流体デバイスにおけるアクチュエータとしての用途が広い。機能性材料,例えば銀(Ag)粒子の添加により,PDMS構造は電気伝導率のようなセンシング特性も達成できる。本論文では,PDMSチャネルの中央に懸濁した三次元マイクロブリッジと呼ばれる,新しい両面ヒンジPDMSとAg-PDMS微細構造を開発するために,犠牲寒天を用いた作製技術を紹介した。この技術は直径90~200μmの高アスペクト比(~44)マイクロブリッジの簡単で一貫した作製を提供する。この設計は,外部電気機器への接続のためのチャネル側壁でのアクセス可能な端末を有するチャネルのバルクにおいて,電気的に導電性のAg-PDMSマイクロブリッジを得る利点を有している。これにより,Ag-PDMSマイクロブリッジの電気的性能と温度センサとしての将来の応用に対するそれらの熱抵抗挙動を調べることができた。種々の直径を有する70%Ag-PDMSマイクロブリッジは10~110Ωの範囲で電気抵抗を有するが,18°Cから51°Cまで上昇する流体の温度に応答して抵抗の指数関数的増加を示すことが分かった。これらの機能化および三次元マイクロブリッジは,マイクロ流体デバイスに埋め込まれ,流体のバルク特性または流体中の標的生物学的物質の存在を測定するための集積センサとして利用される。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  流体式制御機器 

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