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J-GLOBAL ID：201802213342688426   整理番号：18A2149278

2種類の異なる前駆体材料を用いた酸化亜鉛薄膜のプラズマ支援合成

Plasma-assisted synthesis of zinc oxide thin film using two different precursor materials

著者 (4件)： KURIYAMA K. (Kobe City Coll. Technol., Hyogo, JPN) ,  AKAMATSU H. (Kobe City Coll. Technol., Hyogo, JPN) ,  YAMAMOTO S. (Ryukoku Univ., Shiga, JPN) ,  ICHIKAWA K. (National Inst. Technol., Matsue Coll., Shimane, JPN)
資料名： Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proceedings of International Symposium on Dry Process)
巻： 40th  ページ： 249-250  発行年： 2018年 
JST資料番号： Y0378B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *プラズマ合成 ,  *酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  *大気プラズマ ,  *前駆体 ,  水酸化アンモニウム ,  ポリエチレンテレフタレート ,  高分子薄膜 ,  *プラズマ曝露 ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  活性酸素 ,  窒素 ,  フレキシブル基板 ,  *薄膜成長 ,  活性窒素 ,  ZnOフィルム ,  芳香族ポリエステル
準シソーラス用語： 酸化亜鉛薄膜 ,  ROS

分類 (2件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (4件)： 前駆体 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  プラズマ ,  支援