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J-GLOBAL ID:201802213342688426   整理番号:18A2149278

2種類の異なる前駆体材料を用いた酸化亜鉛薄膜のプラズマ支援合成

Plasma-assisted synthesis of zinc oxide thin film using two different precursor materials
著者 (4件):
資料名:
巻: 40th  ページ: 249-250  発行年: 2018年 
JST資料番号: Y0378B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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プラズマ生成・加熱  ,  固体デバイス材料 
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