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J-GLOBAL ID：201802213571496656   整理番号：18A1923868

欧州発 表面処理関連技術の最前線レポート 18 フラウンホーファーIWSのハイパースペクトラルイメージングによる大面積表面特性の連続測定・診断ツール(下)

著者 (2件)： 鈴木巧一 (サーフテックトランスナショナル) ,  鈴木巧一 (フラウンホーファーFEP)
資料名： 工業材料  (Engineering Materials)
巻： 66  号： 11  ページ： 91-94  発行年： 2018年11月01日 
JST資料番号： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・フラウンホーファー社のハイパースペクトラルイメージング(HSI)による大面積表面特性の連続測定・診断ツール応用例とインライン連続測定システム実現の可能性を解説。
・HSIと分光エリプソメータ組合せ計測と部分的最小二乗回帰と主成分回帰によりステンレスホイル上のAl₂O₃酸化膜厚とその分布評価が可能。
・ガラス基板上ITO膜の面積抵抗分布測定も可能で,さらに金属接合前表面観察結果と接合部材のくさび引きはがし接着力の相関をモデル化し接着力の高精度予測が可能。
・現在提案中のガスバリアフイルムのRtoR生産ラィン向けのインライン式水蒸気透過率の連続測定システムの内容を紹介。

シソーラス用語： *表面性状 ,  エリプソメータ ,  多重回帰分析 ,  アルミナ ,  酸化膜 ,  *分布 ,  膜厚 ,  基板 ,  酸化インジウムスズ ,  シート抵抗 ,  接着試験 ,  ガスバリヤ性 ,  *インライン処理 ,  速度 ,  水蒸気 ,  *撮像 ,  分光測光 ,  膜透過
準シソーラス用語： ITO基板 ,  ガスバリア膜 ,  主成分回帰 ,  水蒸気透過率 ,  部分最小二乗回帰 ,  *分光イメージング ,  *膜厚分布

分類 (2件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q) ,  薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (8件)： 欧州 ,  表面処理 ,  レポート ,  大面積 ,  表面特性 ,  連続測定 ,  診断 ,  ツール