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J-GLOBAL ID：201802214660567810   整理番号：18A0844956

Au/TiO_2ナノチューブ/Tiベース固体蒸気センサ:抵抗モードと容量モードにおける効率的センシング【JST・京大機械翻訳】

Au/TiO₂ Nanotubes/Ti-Based Solid-State Vapor Sensor: Efficient Sensing in Resistive and Capacitive Modes

著者 (3件)： Bindra Prateek (Department of Electrical and Electronics Engineering, Birla Institute of Technology and Science, Pilani, India) ,  Gangopadhyay Subhashis (Department of Physics, Birla Institute of Technology Science, Pilani, India) ,  Hazra Arnab (Department of Electrical and Electronics Engineering, Birla Institute of Technology and Science, Pilani, India)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 65  号： 5  ページ： 1918-1924  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO_2ナノチューブベースの固体蒸気センサ(Au/TiO_2ナノチューブ/Ti)の製造と抵抗-および容量-モード検出機構の両方に対するその性能解析をここで議論する。高度に秩序化したTiO_2ナノチューブアレイを電気化学的陽極酸化法により合成した。成長したままのTiO_2ナノチューブの構造と形態をX線回折と電界放出型走査電子顕微鏡を用いて特性化した。X線光電子分光法を用いて,TiO_2ナノチューブの化学状態を研究した。センサ素子をエタノール蒸気で試験した。インピーダンス解析法を用いて,温度,圧力および還元雰囲気(すなわち,エタノール蒸気の分圧)の影響を調べた。インピーダンスの抵抗および容量成分を個々に測定した。センサ抵抗は93.38%減少したが,1000ppmのエタノールへの曝露後に容量は28789.95%増加した。Au/TiO_2ナノチューブ/Tiデバイスの抵抗性および容量性センシング性能の両方を,提案した回路モデルと相関させて,改善された蒸気センシングを達成した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 回路モデル ,  陽極酸化処理 ,  性能分析 ,  分圧 ,  インピーダンス ,  *センサ ,  キャラクタリゼーション ,  X線光電子分光法 ,  X線回折 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 還元雰囲気 ,  インピーダンス解析 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  ナノチューブアレイ ,  感知機構 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (6件)： Au ,  ナノチューブ ,  Ti ,  固体 ,  蒸気 ,  センシング