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J-GLOBAL ID:201802215471725407   整理番号:18A1777218

(0001)α-石英SiO_2表面上のH_2S吸着過程【JST・京大機械翻訳】

H2S adsorption process on (0001) α-quartz SiO2 surfaces
著者 (3件):
資料名:
巻: 124  号: 11  ページ: 115301-115301-6  発行年: 2018年 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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金属硫化物材料の原子層堆積成長のための前処理プロセスである(0001)α-石英SiO_2表面上のH_2S吸着過程を理論的に研究した。高密度で完全にヒドロキシル化した(0001)α-石英SiO_2の表面構造はエネルギー的に安定であるが,H_2S分子との反応はそれほど活性ではないが,開裂SiO_2表面はH_2S分子の解離吸着に化学的に反応し,吸着エネルギーは-3.08eV/分子である。開裂表面において,吸着したH_2SはHおよびH-Sフラグメントに解離し,この反応過程におけるエネルギー障壁は0.042eVと計算されることを確認した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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