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J-GLOBAL ID：201802215625162778   整理番号：18A0815457

二成分薄膜蒸着における結晶化過程:現実的な運動論的モンテカルロシミュレーションに向けて【JST・京大機械翻訳】

Crystallization processes in bicomponent thin film depositions: Towards a realistic kinetic Monte Carlo simulation

著者 (3件)： Martinez-Martinez D. (Center of Physics of the University of Minho, Campus de Azurem, 4800-058 Guimaraes, Portugal) ,  Herdes C. (Department of Chemical Engineering, University of Bath, Claverton Down, Bath, Somerset BA2 7AY, United Kingdom) ,  Vega Lourdes F. (Gas Research Center and Chemical Engineering Department, Khalifa University of Science and Technology, The Petroleum Institute, P.O. Box 2533, Abu Dhabi, United Arab Emirates)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 343  ページ： 38-48  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 速度論的モンテカルロ(KMC)法は,蒸着による薄膜の成長をシミュレートする強力で簡単なツールである。しかしながら,その主要な欠点の一つは,規則格子の使用により誘起される人工的な秩序である。本研究では,新しいKMCアプローチによる二成分薄膜蒸着における結晶化過程を模倣するアルゴリズムを提示した。この新しいアルゴリズムは,GEM-CA(幾何学的エネルギー補償-結晶化アルゴリズム)と呼ばれ,一つの特定の位置を囲む原子の幾何学的配置に依存してホッピングエネルギー障壁を修正する。この新しいアプローチは,合成パラメータのみに依存して,非晶質,結晶性および混合構造(すなわちナノ複合材料)を得ることを可能にする。さらに,それらの次数に基づく堆積構造の解析法を開発した。温度や組成などの異なる堆積パラメータの影響を詳細に検討した。GEM-CAは,二成分膜堆積の実験的に観察された傾向を再現した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *モンテカルロ法 ,  *シミュレーション ,  非晶質 ,  ナノ複合材料 ,  結晶度 ,  混合構造 ,  *薄膜 ,  ホッピング伝導 ,  堆積構造 ,  *結晶化 ,  超格子 ,  アルゴリズム ,  *蒸着
準シソーラス用語： エネルギー障壁 ,  *薄膜蒸着 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 運動論モンテカルロ ,  薄膜堆積 ,  結晶化 ,  多結晶 ,  ナノコンポジット

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 二成分 ,  薄膜蒸着 ,  結晶化 ,  過程 ,  現実 ,  運動論的モンテカルロ ,  シミュレーション