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J-GLOBAL ID：201802215672893499   整理番号：18A1759761

セラミック薄膜の乾燥収縮・応力生成特性

著者 (3件)： 花井寛弥 (岐阜大 大学院) ,  小林信介 (岐阜大 大学院) ,  板谷義紀 (岐阜大 大学院)
資料名： 日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会東海支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.515  発行年： 2018年03月13日 
JST資料番号： L0013B  ISSN： 2424-2748  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： セラミックの製造では乾燥プロセス過程のひび,割れ,そり等の発生が課題となる。これらの欠陥は,含水率分布による乾燥収縮の不均一性および内部応力生成が原因であり,歩留り低下の要因となる。本研究では,シート状に成形したセラミック薄膜の乾燥過程に発生する変形挙動を明らかにするとともに,セラミック薄膜の精密乾燥操作条件の探索を目的に,その第1段階としてセラミック薄膜の対流乾燥特性および収縮・変形・応力生成挙動に与える諸条件の影響を実験と理論の両面から明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *セラミック膜 ,  *薄膜 ,  *乾燥収縮 ,  *応力 ,  *性能分析 ,  *挙動 ,  化学プロセス
準シソーラス用語： *セラミック薄膜 ,  *特性解析 ,  *変形挙動 ,  乾燥プロセス

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： セラミック薄膜 ,  乾燥収縮 ,  応力