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J-GLOBAL ID：201802216109662310   整理番号：18A0454503

ニオブ酸リチウム基板での超短パルスレーザ光微細加工における加工品質制御

1201 Machining quality controls in ultrashort pulse laser micromachining on lithium niobate substrates

著者 (6件)： ONUKI Teppei (Intelligent systems engineering, Ibaraki University) ,  OJIMA Hirotaka (Intelligent systems engineering, Ibaraki University) ,  SHIMIZU Jun (Intelligent systems engineering, Ibaraki University) ,  ZHOU Libo (Intelligent systems engineering, Ibaraki University) ,  TAKAHAMA Itaru (Intelligent systems engineering, Ibaraki University) ,  KAMOSHIDA Kazuki (Intelligent systems engineering, Ibaraki University)
資料名： Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (Web)  (Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (Web))
巻： 2015.8  ページ： _1201-1_-_1201-4_(J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U1247A  ISSN： 2424-3086  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

著者キーワード (4件)： lithium niobate ,  laser ablation ,  ultrashort pulsed laser ,  laser micromachining

タイトルに関連する用語 (4件)： ニオブ酸リチウム ,  短パルスレーザ ,  微細加工 ,  品質制御