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J-GLOBAL ID：201802216241124240   整理番号：18A0182287

プラズマ技術の動向と最前線

Recent Progress in Plasma Technology

著者 (4件)： 白藤立 (大阪市立大学) ,  竹内希 (産業技術総合研究所) ,  市來龍大 (大分大学) ,  桑原拓也 (日本工業大学)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 138  号： 1  ページ： 8-9(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマ技術委員会の直近3回のプラズマ研究会の発表内容や全世界のプラズマ技術の論文件数に基づき,プラズマ技術の動向について述べた。薄膜堆積の主な手法はスパッタリングであるが,近年では,時間的に非定常なプラズマが活躍している。具体的には,パルスプラズマを利用するHiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)を用いたプロセスに関する発表が多くなった。また,旧来の減圧プラズマの発表件数が多数を占めているが,大気圧や液中の非減圧プラズマに関する発表件数もかなり多くなってきている。

シソーラス用語： *プラズマ応用 ,  技術展望 ,  *薄膜成長 ,  *スパッタ蒸着 ,  *プラズマ ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *プラズマ溶射
準シソーラス用語： *パルスプラズマ ,  *HiPIMS ,  *減圧プラズマ溶射

著者キーワード (22件)： プラズマ ,  熱プラズマ ,  低温プラズマ ,  核融合プラズマ ,  大気圧プラズマ ,  液中プラズマ ,  液面上プラズマ ,  パルスプラズマ ,  負イオンプラズマ ,  プラズマプロセシング ,  プラズマ推進 ,  plasma ,  thermal plasma ,  low-temperature plasma ,  fusion plasma ,  atmospheric-pressure plasma ,  plasma in liquid ,  plasma on liquid ,  pulse plasma ,  negative-ion plasma ,  plasma processing ,  plasma propulsion

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマ ,  動向