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J-GLOBAL ID：201802216260969267   整理番号：18A0038527

ECR水素プラズマ中のイオン特性に及ぼす水素分子ビームの導入の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Hydrogen Addition on Ion Characteristics of Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma

著者 (5件)： Shi Zhengyu (中国科学技術大学近代物理系 合肥 230026) ,  Zhang Yichuan (中国科学技術大学近代物理系 合肥 230026) ,  Yang Kuan (中国科学技術大学近代物理系 合肥 230026) ,  Li Huan (中国科学技術大学近代物理系 合肥 230026) ,  Zhu Xiaodong (中国科学技術大学近代物理系 合肥 230026)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 37  号： 8  ページ： 809-814  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 質量分析器を用いて,マイクロ波電子サイクロトロン共鳴(ECR)水素プラズマのイオン特性とイオン特性に及ぼす水素分子ビームの影響を研究した。1Paの放電条件下で,H+,H+2,およびH+の3つの水素イオンが検出され,その中でH+2が主要イオンであった。放電パワーの増加とともに,イオン流束は増加した。水素の放電条件を維持し、作業領域に微量の水素分子ビームを導入した。ビームの増加の初期段階において,電子-イオンの複合反応は増強され,3種類のイオン流束は減少した。高エネルギーイオンに対して、低エネルギー領域のイオン数は著しく減少した。3種類のイオンが正規化された後に,H+2の相対含有量は増加し,H+3の相対含有量は減少したが,H+の相対含有量はほとんど変化しなかった。相対的な含有量の変化は異なるイオン-分子間衝突の差異と関係がある。水素イオンビームがさらに増加するにつれて,種々のイオンの相対含有量は安定になる傾向があった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 複合反応 ,  質量分析計 ,  *水素 ,  *イオン ,  陽子 ,  イオン電流 ,  放電 ,  マイクロ波 ,  低エネルギー領域
準シソーラス用語： 高速イオン ,  放電電力 ,  電子サイクロトロン共鳴 ,  *水素分子 ,  *イオン性 ,  *水素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Hydrogen plasma ,  Ion characteristics ,  Collision process ,  ECR plasma

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素プラズマ ,  イオン特性 ,  水素分子 ,  ビーム