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J-GLOBAL ID：201802216279893474   整理番号：18A1679523

容量性微細加工超音波変換器を用いた透過型走査音響トモグラフィー【JST・京大機械翻訳】

Through-Transmission Scanning Acoustic Tomography Using Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer

著者 (4件)： Takezaki Taiichi (Center for Technology Innovation - Electronics, Hitachi, Ltd. Research & Development Group, 1-280, Higashi-koigakubo, Kokubunji, Tokyo, 185-8601, Japan) ,  Kawano Masakazu (Center for Technology Innovation - Electronics, Hitachi, Ltd. Research & Development Group, 1-280, Higashi-koigakubo, Kokubunji, Tokyo, 185-8601, Japan) ,  Machida Shuntaro (Center for Technology Innovation - Electronics, Hitachi, Ltd. Research & Development Group, 1-280, Higashi-koigakubo, Kokubunji, Tokyo, 185-8601, Japan) ,  Ryuzaki Daisuke (Center for Technology Innovation - Electronics, Hitachi, Ltd. Research & Development Group, 1-280, Higashi-koigakubo, Kokubunji, Tokyo, 185-8601, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IPFA  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 受信プローブとして容量性微細加工超音波変換器(CMUT)を用いた走査音響トモグラフィー(SAT)における最初の透過画像を示した。30nmの狭いギャップを有するCMUTセルを用いて,高い受信感度を得た。3dBの分数帯域幅109%をもつ30MHz受信CMUTプローブをSATの透過伝送技術に用いた。50MHzの圧電透過プローブを用いてSiウエハ中に形成された人工線形ボイドのイメージングにおいて,横方向分解能は約65μmであり,2mm厚のアクリル板を通る透過パルスの受信において,CMUTプローブの信号対雑音比は25MHz圧電素子のそれより1.7倍高かった。50MHz圧電透過プローブを用いた2.3mm厚ボールグリッドアレイ(BGA)パッケージのイメージングにおいて,20~30MHzの周波数範囲において,CMUTプローブは圧電プローブよりも10dB高感度であった。CMUTプローブの分解能は圧電のものより高かった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プローブ ,  *超音波変換器 ,  *走査 ,  受信 ,  帯域幅 ,  画像 ,  圧電素子 ,  圧電気 ,  画像処理 ,  分解能 ,  高感度 ,  *微細加工 ,  SN比 ,  周波数 ,  パルス

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 容量性 ,  微細加工 ,  超音波変換器 ,  透過 ,  走査 ,  音響トモグラフィー