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J-GLOBAL ID：201802216457428077   整理番号：18A2028196

テラヘルツボロメータ応用のためのMEMSビーム共振器における歪同調【JST・京大機械翻訳】

Strain tuning in MEMS beam resonators for terahertz bolometer applications

著者 (5件)： Qiu Boqi (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Zhang Ya (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Akahane Kouichi (National Institute of Information and Communications Technology, 4-2-1 Nukui-Kitamachi, Koganei, Tokyo, 184-8795, Japan) ,  Nagai Naomi (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Hirakawa Kazuhiko (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IRMMW-THz  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重クランプMEMSビーム共振器を用いて,室温,全ての電気駆動と検出,THzボロメータを提案した。MEMSボロメータのダイナミックレンジは熱誘起圧縮歪によるビーム座屈により制限されることが知られている。本研究では,梁構造に歪んだGaAsPを用いて,MEMS梁に予負荷引張歪を導入した。熱圧縮歪を低減し,THz検出のためのパワーレンジを拡大した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *同調 ,  プレストレッシング ,  クランプ ,  ダイナミックレンジ ,  *共振器 ,  *ボロメータ ,  *MEMS ,  引張歪 ,  圧縮歪
準シソーラス用語： 電気駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 音声処理  (JE05000E) ,  符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 応用 ,  MEMS ,  ビーム ,  共振器 ,  同調