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J-GLOBAL ID:201802216457428077   整理番号:18A2028196

テラヘルツボロメータ応用のためのMEMSビーム共振器における歪同調【JST・京大機械翻訳】

Strain tuning in MEMS beam resonators for terahertz bolometer applications
著者 (5件):
資料名:
巻: 2018  号: IRMMW-THz  ページ: 1-2  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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二重クランプMEMSビーム共振器を用いて,室温,全ての電気駆動と検出,THzボロメータを提案した。MEMSボロメータのダイナミックレンジは熱誘起圧縮歪によるビーム座屈により制限されることが知られている。本研究では,梁構造に歪んだGaAsPを用いて,MEMS梁に予負荷引張歪を導入した。熱圧縮歪を低減し,THz検出のためのパワーレンジを拡大した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
分類
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音声処理  ,  符号理論  ,  専用演算制御装置 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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