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J-GLOBAL ID：201802216519580552   整理番号：18A1113443

分光法に基づくGe_2Sb_2Te_5薄膜の光学定数取得と相変化特性【JST・京大機械翻訳】

Optical constants acquisition and phase change properties of Ge₂Sb₂Te₅ thin films based on spectroscopy

著者 (6件)： Xu Zemin (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, P. R. China. [e-mail]) ,  Chen Chaonan ,  Wang Zhewei ,  Wu Ke ,  Chong Haining ,  Ye Hui
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 8  号： 37  ページ： 21040-21046  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,相変化カルコゲナイドGe_2Sb_2Te_5(GST)薄膜をマグネトロンスパッタリングにより作製した。このような合金の光学的性質,特に光学定数(屈折率と消光係数)を,異なる相の間の熱的および光熱的に誘起されたスイッチングを調べることによって系統的に研究した。その結果,GST膜は,それぞれ,160°C,200°C,250°C,350°Cでのポストアニーリングにより,また,532nmで7μmのビーム直径で,それぞれ,1mW,3mW,5mW,10mWのレーザ照射により,微細構造と光学定数において高度に調整可能であることを示した。構造解析から,異なる後処理GST膜における異なる結晶性と化学結合を明確に観察できた。種々の相の下でのGST膜の光学定数を,Tauc-Lorentz(TL)分散モデルによるそれらの透過率データを適合させることによって,分光測光から得た。屈折率と消光係数はアニーリングとレーザ照射により顕著な変化を示し,特に1550nmでは3.85(非晶質)から6.5(結晶)への屈折率の変化を示した。光学定数はレーザ照射法により微調整できることを証明した。したがって,迅速で反復可能な位相変化による光学特性の顕著な調整安定性は,可変同調フォトニック素子に適したGSTを与える。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： レーザ照射 ,  カルコゲン化物 ,  結晶 ,  非晶質 ,  マグネトロンスパッタリング ,  透過率 ,  焼なまし ,  *薄膜 ,  屈折率 ,  後処理 ,  *相転移 ,  *光学定数 ,  微細構造
準シソーラス用語： ポストアニーリング ,  消光係数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  固相転移  (BL04020G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 分光法 ,  薄膜 ,  光学定数 ,  相変化