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J-GLOBAL ID：201802216995316198   整理番号：18A2079403

電磁駆動Wheatstoneブリッジ構成マイクロメカニカル共振器における分解能改善【JST・京大機械翻訳】

Resolution improvement in electromagnetically actuated Wheatstone bridge configuration micromechanical resonators

著者 (8件)： Moczala Magdalena (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland) ,  Sierakowski Andrzej (Institute of Electron Technology, Al. Lotnikow 32/46, PL-02668, Warszawa, Poland) ,  Babij Michal (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland) ,  Kwoka Krzysztof (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland) ,  Dobrowolski Rafal (Institute of Electron Technology, Al. Lotnikow 32/46, PL-02668, Warszawa, Poland) ,  Radojewski Jacek (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland) ,  Piasecki Tomasz (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland) ,  Gotszalk Teodor (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, PL-50372, Wroclaw, Poland)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 284  ページ： 181-185  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,窒化ケイ素二重固定ビーム(マイクロブリッジ)と薄膜金属経路で作られたマイクロ電気機械システム(MEMS)として製作された共振センサの設計に対する新しいアプローチを提示し,作動と読出しの両方を可能にした。動作効率と読出し感度を増加させるための平均としてオンチップ実装Wheatstoneブリッジ回路を提案した。ブリッジ分岐の2つは作動し,Lorentzループを検知するが,他の2つは不動で支持された構造上の参照抵抗器である。このようなアプローチにより,単一Lorentzループと比較して応答を4倍に増加させることができた。真空中と大気中での共鳴を観測することができた。測定可能な振動を作動させるために必要な電力消費は,それぞれ130pWと13nWであった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： MEMS ,  窒化ケイ素 ,  センサ ,  *共振器 ,  金属薄膜 ,  *分解能 ,  抵抗器 ,  *電磁駆動 ,  *共振 ,  電力消費
準シソーラス用語： オンチップ ,  読出し ,  機械システム ,  マイクロブリッジ ,  *Wheatstoneブリッジ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  マイクロブリッジ ,  電磁駆動 ,  磁気駆動検出 ,  Lorentzループ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電磁駆動 ,  Wheatstoneブリッジ ,  共振器 ,  分解能