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J-GLOBAL ID:201802217142542387   整理番号:18A2041490

高輝度Li/W<111>電界エミッタを備えたマイクロフォーカスX線顕微鏡の開発【JST・京大機械翻訳】

Development of micro focus X-ray microscope equipped with high brightness Li/W < 111 > field emitter
著者 (4件):
資料名:
巻: 2018  号: IVNC  ページ: 1-2  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Li/W<111>エミッタをもつ低加速電圧X線顕微鏡を開発した。Taylor円錐を有するLi/W<111>エミッタは,高い角度電流密度と高い全放出を有した。エミッタからの電子ビームを,2つの電極と目的の磁気レンズの静電レンズによって集束した。12kVの加速電圧で,X線強度とX線画像の空間分解能は,それぞれ10μGy/minと10μmより良かった。空間分解能はX線励起のターゲット上の電子プローブサイズによって制限される。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 

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