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J-GLOBAL ID：201802217367517677   整理番号：18A0624985

高精度走査プローブ顕微鏡技術

著者 (3件)： 清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 先端加工技術
号： 104  ページ： 4-6  発行年： 2018年03月 
JST資料番号： L0882A  ISSN： 0914-8698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・3次元微細加工面やそれを加工するマイクロ工具の形状工具計測のために開発した新走査型プローブ顕微鏡(SPM)の新しいイノベーション技術例を数例紹介。
・本技術は従来のラスタ走査方式に代わるスパイラル走査SPMによるもので大面積3次元微細形状の加工機上計測装置の概要を紹介。
・探針と試料表面を非接触に保った状態で両者間に作用する静電場信号から電荷分布の影響を除去し形状を求める計算法を提案し,これによる非接触静電気力SPMを開発。
・更にマイクロダイヤモンド工具の3Dエッジ形状をナノメートル分解能で計測するための光プローブでの新Tip-to-Edge自動位置合わせSPMを提案・開発。

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *形状測定 ,  *加工 ,  同期制御 ,  非接触測定 ,  ダイヤモンド工具 ,  端部
準シソーラス用語： *三次元形状計測 ,  *三次元加工 ,  マイクロ工具 ,  静電気力 ,  エッジ

分類 (2件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (3件)：

• Wei Gao et al., Precision Engineering, 31 (2007), 304-309.
• Wei Gao et al., CIRP Annals - Manufacturing Technology, 61 (2012), 471-474.
• Wei Gao et al., CIRP Annals - Manufacturing Technology, 58 (2009), 451-454.

タイトルに関連する用語 (1件)： 走査プローブ顕微鏡