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J-GLOBAL ID：201802217445576241   整理番号：18A0447557

読出し集積回路を持つCMOS MEMSに基づく単一プルーフマス3軸容量型加速度計の設計と解析【Powered by NICT】

Design and analysis of CMOS MEMS based single proof mass Tri-axial capacitive accelerometer with readout integrated circuit

著者 (5件)： Shahbaz Muhammad Aaquib (College of Engineering, Electronic Devices, Circuits and Systems Group, Karachi Institute of Economics and Technology, Karachi Pakistan) ,  Warsi Zain Hussain (College of Engineering, Electronic Devices, Circuits and Systems Group, Karachi Institute of Economics and Technology, Karachi Pakistan) ,  Irshad Shahzadi Mahaa (College of Engineering, Electronic Devices, Circuits and Systems Group, Karachi Institute of Economics and Technology, Karachi Pakistan) ,  Irshad Shahzada Tahaa (College of Engineering, Electronic Devices, Circuits and Systems Group, Karachi Institute of Economics and Technology, Karachi Pakistan) ,  Jawed Syed Arsalan (College of Engineering, Electronic Devices, Circuits and Systems Group, Karachi Institute of Economics and Technology, Karachi Pakistan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： INTELLECT  ページ： 1-8  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,モノリシックCMOS-MEMS(マイクロ電子機械システム)は150nmポリシリコンと六metal/dielectric CMOS-MEMSプロセスを用いて実装された完全な読出し集積回路(ROIC)に基づく3軸加速度計。CMOS-MEMSプロセスの多層積層の特徴は,面内(x軸とy軸)および面外(z軸)容量センシング電極を統合するために利用した。このようにして,三軸センシング電極を加速度計の全体的なフットプリントを低減する単一プルーフマスに統合することができる。さらに,すべての三軸間の完全差動センシング電極は感度を増加し,雑音を低減した。加速度計構造はCoventorのMEMS+を用いて設計し,シミュレートした。加速度計測定は,プルーフマスの検出,これは外部加速度入力の結果を検出するための電極間の静電容量の変化。容量性MEMS構造を静電容量の変化と一致して出力電圧を与えることを示差位置覚界面に接続されている。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *加速度 ,  雑音 ,  静電容量 ,  ポリシリコン ,  界面 ,  *集積回路 ,  *CMOS ,  *加速度計 ,  *MEMS ,  多層
準シソーラス用語： 出力電圧 ,  フットプリント ,  三軸加速度計 ,  *三軸 ,  *読出し , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (9件)： 読出し ,  集積回路 ,  CMOS ,  MEMS ,  マス ,  3軸 ,  加速度計 ,  設計 ,  解析