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J-GLOBAL ID：201802217601309484   整理番号：18A0313038

革新的機能をもつイメージセンサー テラヘルツ光イメージセンサー

著者 (2件)： 池辺将之 (北大 大学院情報科学研究科) ,  佐野栄一 (北大 量子集積エレクトロニクス研究セ)
資料名： 光学  (Japanese Journal of Optics)
巻： 47  号： 1  ページ： 14-20  発行年： 2018年01月10日 
JST資料番号： G0125B  ISSN： 0389-6625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・100GHz~10THzのテラヘルツ光を効果的に検出する素子として,室温で動作し,小型で低価格の固体テラヘルツセンサーが必要。
・テラヘルツ光センサーで利用される遠赤外線検出MEMSボロメーター方式とアンテナアレイ方式を紹介。
・CMOSプロセスとテラヘルツ光イメージングの原理を述べ,MEMSボロメーターを拡張した構成や,マッチング回路を介してアンテナとダイオードと接続したアレイ構成を説明。
・オンチップアンテナ,インピーダンス整合回路,テラヘルツ光検出器から構成されたピクセル回路では,キャリア周波数0.915THzにおいて受光感度51.9kV/Wを実証。
・Si CMOSプロセスを用いた低価格なテラヘルツイメージセンサーの実現が可能。

シソーラス用語： *イメージセンサ ,  *テラヘルツ波 ,  画像処理 ,  MEMS ,  *ボロメータ ,  超小形回路技術 ,  アンテナ ,  光センサ ,  整合器 ,  遠赤外線 ,  半導体プロセス ,  CMOS ,  インピーダンス整合 ,  電子回路
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  オンチップ ,  ピクセル回路 ,  光イメージング

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

引用文献 (19件)：

• K. Kawase, Y. Ogawa, Y. Watanabe and H. Inoue: Opt. Express, 11 (2003) 2549-2554.
• M. C. Kemp, P. F. Taday, B. E. Cole, J. A. Cluff, A. J. Fitzgerald and W. R. Tribe: Proc. SPIE, 6 (2003) 44-52.
• B. Zhu, Y. Chen, K. Deng, W. Hu and Z. S. Yao: “Terahertz science and technology and applications,” Proc. of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (PIERS) (Beijin, 2009) pp. 1166-1170.
• K. Katayama, K. Takano, S. Amakawa, S. Hara, A. Kasamatsu, K. Mizuno and M. Fujishima: “A 300 GHz 40 nm CMOS transmitter with 32-QAM 17.5 Gb/s/ch capability over 6 channels,” Technical Digest of IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC) (San Francisco, 2016) pp. 342-343.
• C. Vieider: Proc. SPIE, 6836 (2007) 68360D-1.

タイトルに関連する用語 (2件)： イメージセンサー ,  テラヘルツ光