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J-GLOBAL ID：201802217723143342   整理番号：18A0846816

有線サイズカンチレバービームのモデリングと固有振動数解析【JST・京大機械翻訳】

Modeling and eigen frequency analysis of wired size cantilever beam

著者 (2件)： Kumar Shubankar (Dept. of Electronics Engg., Pondicherry University, Pondicherry) ,  Shanmuganantham T. (Dept. of Electronics Engg., Pondicherry University, Pondicherry)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICICICT  ページ： 1030-1032  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,マイクロ電気機械システム(MEMS)技術を用いて,非常に低い寸法のシリコン材料のワイヤサイズのCantileerビームについて述べた。モデルはComsolソフトウェアを用いて設計した。梁のたわみの関数として固有振動数を解析した。たわみが大きいほど,装置の精度は高くなる。ビームの寸法は30(μm)である。L,4(μm);Wと0.7(μm);シミュレーション値は固有振動数の解析値と一致することを観測した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  MEMS ,  たわみ ,  *固有振動数 ,  ソフトウェア ,  *モデリング
準シソーラス用語： 機械システム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 構造動力学  (HD02000E) ,  電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： モデリング ,  固有振動数 ,  解析