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J-GLOBAL ID：201802217765755200   整理番号：18A0482918

干渉縞の間のフレーム間相関を用いたブラインド位相シフトを用いた3段階干渉測定法【Powered by NICT】

Three-step interferometric method with blind phase shifts by use of interframe correlation between interferograms

著者 (6件)： Muravsky Leonid I. (Karpenko Physico-Mechanical Institute of the NAS of Ukraine, Department of Optical-Digital Diagnostics Systems, 5 Naukova str., Lviv 79060 Ukraine) ,  Kmet’ Arkady B. (Karpenko Physico-Mechanical Institute of the NAS of Ukraine, Department of Optical-Digital Diagnostics Systems, 5 Naukova str., Lviv 79060 Ukraine) ,  Stasyshyn Ihor V. (Karpenko Physico-Mechanical Institute of the NAS of Ukraine, Department of Optical-Digital Diagnostics Systems, 5 Naukova str., Lviv 79060 Ukraine) ,  Voronyak Taras I. (Karpenko Physico-Mechanical Institute of the NAS of Ukraine, Department of Optical-Digital Diagnostics Systems, 5 Naukova str., Lviv 79060 Ukraine) ,  Bobitski Yaroslav V. (Lviv Polytechnic National University, Chair of Photonics; 12 Bandera str., Lviv 79013 Ukraine,) ,  Bobitski Yaroslav V. (University of Rzeszow, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, 1 Prof. St. Pigon Str., Rzeszow 35-310 Poland)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 105  ページ： 27-34  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平滑および低粗度工学表面の位相マップ(PM)を検索するためのブラインド位相シフトによる新しい三段階干渉計測法を提案した。二つの未知位相シフトの評価は干渉図形間のフレーム間相関を用いることにより満たされている。法は二段階から構成されている。第一段階は,未知の位相シフトの計算,及び粗大PMの検索を含む試験対象物とその処理の三つの干渉縞の記録を提供する。第二段階は,最初に分離高周波と低周波PMを実装し,次に面表面粗さとうねりPMの微細PMの生成した。面表面粗さとうねりPMの抽出は線形低域通過フィルタを用いて行った。ゲージブロック表面積とその面表面粗さとうねりを検索するために満たす計算機シミュレーションと実験により,提案した三段階法の信頼性を確認した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *位相 ,  線形性 ,  うねり ,  *干渉測定 ,  計算機シミュレーション ,  HF【周波数】 ,  信頼性 ,  表面積 ,  LF【周波数】 ,  *干渉縞 ,  低域フィルタ ,  粗度 ,  *位相シフト
準シソーラス用語： インターフェログラム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 位相シフト干渉法 ,  ブラインド位相シフト ,  相マップ ,  表面計測 ,  面表面粗さ ,  地域うねり

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 干渉縞 ,  相関 ,  ブラインド ,  位相シフト ,  段階 ,  干渉測定