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J-GLOBAL ID：201802218128348668   整理番号：18A1008856

微小液滴を用いた大気圧非平衡プラズマ材料プロセス開発

著者 (7件)： 妻木正尚 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  新田魁洲 (東大 工) ,  清水禎樹 (産業技術総合研 ナノ材料研究部門) ,  寺嶋和夫 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  寺嶋和夫 (東大 工) ,  伊藤剛仁 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  伊藤剛仁 (東大 工)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 42  号： 3  ページ： 135-138  発行年： 2018年05月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・大気圧における微小液滴を用いた非平衡プラズマプロセスについて,以下の2つのプロセスを開発。
・液滴を擬似的に閉じた反応場とする事により,高い粒径と組成制御が可能となる粒子合成プロセスについて紹介。
・液滴生成法にインクジェットを用いる事で高い制御性を持ち,材料合成とパターニングを同時に行う,プラズマ援用インクジェットプリンティングについて紹介。

シソーラス用語： *液滴 ,  *プラズマ ,  *工程 ,  反応場 ,  プラズマ処理 ,  粒径 ,  制御 ,  合成 ,  滴状凝縮 ,  可制御性 ,  パターン形成 ,  インクジェット印刷
準シソーラス用語： ナノ粒子合成 ,  液滴生成 ,  *材料プロセス ,  組成制御 ,  *大気圧非平衡プラズマ ,  *微小液滴

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (18件)：

• S. Iseki, K. Nakamura, M. Hayashi, H. Tanaka, H. Kondo, H. Kajiyama, H. Kano, F. Kikkawa, and M. Hori: Selective killing of ovarian cancer cells through induction of apoptosis by nonequilibrium atmospheric pressure plasma. Appl. Phys. Lett., 100 (2012) 113702
• Q. Chen, J. Li, and Y. Li: A review of plasma-liquid interactions for nanomaterial synthesis. J. Phys. D: Appl. Phys., 48 (2015) 424005
• T. Yoshida: The Future of Thermal plasma Processing, Matter. Trans., JIM 31 (1990) 1
• P. Fauchais, M. Vardelle, A. Vardelle and S. Goutier: What Do We Know, What Are the Current Limitations of Suspension Plasma Spraying?. J. Thermal Spray Technol., 24 (2015) 1120
• T. Kondo, M. Tsumaki, W. A. Dino, and T. Ito: Influence of reactive gas-phase species on the structure of an air/water interface. J. Phys. D: Appl. Phys., 50 (2017) 244002

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小液滴 ,  大気圧非平衡プラズマ ,  材料プロセス ,  開発