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J-GLOBAL ID：201802218665545876   整理番号：18A0743832

ガスクラスターイオンビーム照射による微細構造形成

Nanostructure formation using Gas Cluster Ion Beam

著者 (2件)： 佐藤明伸 (日本航空電子工業) ,  鈴木晃子 (日本航空電子工業)
資料名： 航空電子技報(Web)  (JAE Technical Report (Web))
号： 40  ページ： 69-79 (WEB ONLY)  発行年： 2018年03月 
JST資料番号： U0298A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガスクラスターイオンビーム技術の特長として,これまでは材料表面の平坦化効果が注目されており,我々も金型ツールなどの機械的耐久性向上について検討してきました。本研究では,局所的に機械的性質が異なる不均質材料や,均質材料のエッジ部に着目し,ガスクラスターイオンビームの各種条件下での表面形状変化を調べました。その結果,平坦化速度を著しく増加させる新しい微細構造形成現象を見いだしたので報告します。(著者抄録)

シソーラス用語： *イオンビーム ,  イオン照射 ,  改変 ,  *微細構造 ,  トライボロジー ,  形態 ,  アルミニウム ,  放電加工 ,  ダイヤモンド ,  電子顕微鏡写真 ,  表面加工 ,  *イオンビーム加工
準シソーラス用語： *ガスクラスターイオンビーム ,  イオンビーム照射 ,  平坦化 ,  表面形状 ,  単結晶ダイアモンド

分類 (1件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

引用文献 (14件)：

• I. Yamada, MATERIALS PROCESSING BY CLUSTER ION BEAMS (CRC Press, Boca Raton, 2016).
• I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, T. Aoki, T. Seki, Current Opinion in Solid State and Materials Science, 19, 12 (2015).
• 松尾二郎、藤井麻樹子、瀬木利夫、青木学聡、J. Vac. Soc. Jpn., 59, 113 (2016).
• 河野健司、鈴木晃子、佐藤明伸、航空電子技報 No.32, 2 (2009).
• 山田 公 編著、クラスターイオンビーム 基礎と応用(日刊工業新聞社, 東京, 2006), 82.

タイトルに関連する用語 (2件)： ガスクラスターイオンビーム ,  微細構造