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J-GLOBAL ID：201802218721593190   整理番号：18A0431818

パルスDC PACVDにより蒸着したナノ複合材料TiSiN膜の濡れ性と腐食抵抗に及ぼすSi含有量の影響【Powered by NICT】

Influence of Si content on the wettability and corrosion resistance of nanocomposite TiSiN films deposited by pulsed-DC PACVD

著者 (4件)： Movassagh-Alanagh Farid (Department of Materials Engineering, Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran) ,  Abdollah-zadeh Amir (Department of Materials Engineering, Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran) ,  Asgari Masoud (Department of Materials Engineering, Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran) ,  Ghaffari Mohammad Amin (School of Metallurgy & Materials Engineering, College of Engineering, University of Tehran, P.O. Box 4563-11155, Tehran, Iran)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 739  ページ： 780-792  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Ti-6Al-4Vの濡れ性と腐食抵抗を改善するために,種々のSi含有量を有する窒化チタンけい素(TiSiN)薄膜をパルスDCプラズマ支援化学蒸着(PACVD)法を用いてこの合金上に堆積した。結果はTiSiN皮膜は,TiNナノ結晶はSiN_xの非晶質マトリックスに囲まれているナノ複合材料の微細構造を持つことを示した。Si含有量を0から24.7wt%では,膜の水接触角はTiSiN膜上にハイブリッドTiO_2/SiO_2表面酸化物層の形成に起因して82.2°から47.5°に,また21~32nmの表面粗さを上昇する。37°Cの擬似体液(SBF)中で電気化学的研究は,ナノ複合材料の微細構造に起因するTiSiN膜,ハイブリッドSiO_2/TiO_2不動態酸化物層の形成及びTiN膜と比較してより低い微細構造欠陥は腐食性液体に対してより効果的な保護障壁層として作用することを示した。電気化学インピーダンス分光法(EIS)試験では,Siの12.1wt%のTiSiN膜は非被覆Ti-6Al-4V合金と比較して最良の腐食抵抗とSiの0と6.3と17.8と24.7wt%を持つ他のTiSiN膜を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 非晶質 ,  合金 ,  プラズマCVD ,  *濡れ ,  電気化学 ,  *ケイ素 ,  微細構造 ,  皮膜 ,  *ナノ複合材料 ,  *耐食性 ,  ナノ結晶 ,  酸化層
準シソーラス用語： 電気化学インピーダンス分光法 ,  擬似体液 ,  窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  ナノ構造材料 ,  蒸着 ,  Microstructure ,  電気化学的インピーダンス分光法

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (7件)： パルス ,  DC ,  蒸着 ,  ナノ複合材料 ,  濡れ性 ,  腐食抵抗 ,  Si含有量