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J-GLOBAL ID:201802218884224450   整理番号:18A1490189

負の電子親和性状態を持つ表面から放出された電子の角度分解分光システムの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of angle-resolved spectroscopy system of electrons emitted from a surface with negative electron affinity state
著者 (9件):
資料名:
巻: 89  号:ページ: 073103-073103-8  発行年: 2018年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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伝導帯電子の解析のための角度分解光電子分光システムを開発した。半導体表面に負の電子親和性表面を形成することにより,伝導帯の電子を真空中に放出し,アナライザを用いて測定した。この方法は伝導電子のエネルギーと運動量を決定できる。さらに,それを用いて,非占有伝導帯構造を決定することができた。この方法の主な課題は,放出された電子のエネルギーが極端に低く,電子の軌跡が様々な影響により変化することである。試料に近い遮蔽メッシュを置き,試料表面に平行にすることにより,これらの問題を克服した。遮蔽メッシュを含む全チャンバーを接地し,負のバイアス電圧を試料にのみ適用した。この構成は試料表面に平行な運動量成分を保存しながら電子の加速を実現する。もう一つの問題は,検出角度を対応する波動ベクトルに変換する方法の確立である。試料から放出された電子の放出角とそれらの最小エネルギーに焦点を絞り,最小エネルギーに基づいて検出角度を対応する波動ベクトルに変換するための解析法を確立した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
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電子分光法  ,  イオンとの相互作用  ,  顕微鏡法 

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