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文献
J-GLOBAL ID:201802218950547093   整理番号:18A2073625

大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化

著者 (3件):
資料名:
巻: 2018  ページ: ROMBUNNO.11-9  発行年: 2018年09月15日 
JST資料番号: L1738B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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酸化物薄膜 

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