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J-GLOBAL ID：201802218950547093   整理番号：18A2073625

大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化

著者 (3件)： 櫻又慎太朗 (香川高専) ,  須崎嘉文 (香川大) ,  鹿間共一 (香川高専)
資料名： 電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Shikoku-Section Joint Convention Record of the Institutes of Electrical and Related Engineers (CD-ROM))
巻： 2018  ページ： ROMBUNNO.11-9  発行年： 2018年09月15日 
JST資料番号： L1738B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *薄膜 ,  *酸化亜鉛 ,  透明導電膜 ,  *ドーピング ,  電極 ,  スペクトル ,  光ルミネセンス ,  キャリアガス ,  電気抵抗率 ,  *大気圧低温プラズマ ,  *ZnOフィルム
準シソーラス用語： *AZO ,  ITO電極 ,  PLスペクトル ,  *ZnO薄膜 ,  抵抗率

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気圧低温プラズマ ,  作製 ,  Azo ,  ZnO ,  ZnO薄膜 ,  水 ,  膜特性