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J-GLOBAL ID：201802219365819834   整理番号：18A1941231

GHzスプリットリング共振器プラズマ着火性能に及ぼす材料の影響【JST・京大機械翻訳】

Material influence on GHz split-ring resonator plasma ignition performance

著者 (4件)： Cohick Z. (Department of Engineering Science and Mechanics, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Perini S. (Materials Research Institute, Pollock Road, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Wolfe D. (Department of Engineering Science and Mechanics, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Lanagan M. (Department of Engineering Science and Mechanics, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 124  号： 15  ページ： 153302-153302-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スプリットリング共振器はメタ材料におけるそれらの応用によって一般化されてきたが,電場を集中させるそれらの能力はマイクロ波プラズマ発生器としてそれらを有用にした。リング共振器を用いたプラズマ発生に関する多くの研究の存在にもかかわらず,プラズマ発生性能に及ぼす異なる材料の影響の比較研究は存在しなかった。本研究は,4~100Torrの範囲の圧力でのリング共振器のマイクロ波特性とプラズマ発生性能に及ぼす材料効果の研究に焦点を合わせた。この目的を達成するために,高い伝導率,比較的低い反応性,および伝導率と仕事関数の違いにより,スクリーン印刷銀と金リング共振器を研究した。リング共振器の表面形態と化学を,光学形状測定,走査電子顕微鏡,およびX線光電子分光法を用いて研究した。これら二つの材料の間の性能に影響する主な因子はQ値であることが分かった。これは従来の帯域幅測定と伝導率の測定の両方を用いて決定される。Q因子は,そのQ値が金リング共振器に整合するように,銀リング共振器を修正することによってさらに分離される。さらに,プラズマ曝露後の銀共振器上に形成された膜は,金と異なり,銀とは全く異なる材料を研究する機会を提供する。膜が存在すると,プラズマ発生性能は,圧力が減少するにつれて,厳しさの増加とともに減少し,4Torrでの絶縁破壊に対して,より多くの電力が必要とされる。この変化は,圧力が減少すると境界効果が増加すると期待されるマイクロ波プラズマ破壊のモデルと定性的に一致する。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *リング共振器 ,  *共振器 ,  *プラズマ ,  電場 ,  電力 ,  走査電子顕微鏡 ,  帯域幅 ,  マイクロ波 ,  銀 ,  金 ,  Q値 ,  スクリーン印刷 ,  プラズマ生成
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  メタマテリアル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： GHz ,  スプリットリング共振器 ,  プラズマ ,  着火性能