文献

J-GLOBAL ID：201802219652529247   整理番号：18A0770506

DUVレーザによる微細加工技術開発

著者 (4件)： 二井谷春彦 (三菱重工工作機械) ,  藤田善仁 (三菱重工工作機械) ,  赤間知 (三菱重工工作機械) ,  今宮悠治 (三菱重工工作機械)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I44  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,レーザ加工技術は産業用途に広く採用されている。穴あけなどの微細加工では,短パルスレーザを用いることで高品質な加工が可能であるが,微細度の向上が求められている。三菱重工工作機械(株)では,加工分解能の向上が期待できる深紫外レーザ光学系を開発し,微細レーザ加工機“ABLASER-DUV“に搭載した。穴あけ試験を実施した結果,穴直径最小10μm,アスペクト比最大10の超微細穴加工を実現した。(著者抄録)

シソーラス用語： *微細加工 ,  細孔 ,  *レーザ穴あけ ,  *レーザ加工機 ,  工作精度

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微細加工技術 ,  開発