抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,レーザ加工技術は産業用途に広く採用されている。穴あけなどの微細加工では,短パルスレーザを用いることで高品質な加工が可能であるが,微細度の向上が求められている。三菱重工工作機械(株)では,加工分解能の向上が期待できる深紫外レーザ光学系を開発し,微細レーザ加工機“ABLASER-DUV“に搭載した。穴あけ試験を実施した結果,穴直径最小10μm,アスペクト比最大10の超微細穴加工を実現した。(著者抄録)