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J-GLOBAL ID:201802219889814286   整理番号:18A2149233

PBIIシステムと組み合わせたHiPIMSで作製したSi-DLC膜の電気伝導度

Electrical Conductivity of Si-DLC films prepared by HiPIMS combined with PBII system
著者 (4件):
資料名:
巻: 40th  ページ: 159-160  発行年: 2018年 
JST資料番号: Y0378B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  炭素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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