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J-GLOBAL ID：201802220671445165   整理番号：18A2227567

MEMS発振器における接触の影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

An Investigation on the Effects of Contact in MEMS Oscillators

著者 (3件)： Guerrieri Andrea (Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Frangi Attilio (Department of Civil and Environmental Engineering, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Falorni Luca (STMicroelectronics, Milan, Italy)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 6  ページ： 963-972  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 双線形剛性を特徴とする簡単なデバイスを製作し,試験し,シミュレーションすることにより,MEMS発振器における接触の影響を調べた。シャトル振動が与えられた閾値を超えると,弾性梁との接触が活性化される。最初に,強い硬化ヒステリシスループを示す標準的な1サイクル応答を検討した。次に,他の周期解が存在し,複数のサイクルと影響によって特徴付けられることを示した。これらは,強制振幅と周波数の限られた範囲に対してのみ安定であり,周期二重分岐に関連している。測定およびシミュレーションした変位のスペクトルは,光学における周波数コムとして知られているものに類似した音の豊富な収集を示した。[2018-0175]Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 剛性 ,  スペクトル ,  *MEMS ,  周期解 ,  線形性 ,  *発振器 ,  音響
準シソーラス用語： 周波数コム ,  ヒステリシスループ ,  弾性梁 ,  シャットル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  発振回路  (NC05020Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  発振器 ,  研究