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J-GLOBAL ID：201802221808161513   整理番号：18A0650219

マクロ/マイクロ運動制御のためのインダクタンスセンサの動的静的キャリブレーション装置【JST・京大機械翻訳】

Dynamic and Static Calibration Device of Inductive Sensors Based on Macro/Micro Motion Control

著者 (3件)： Zhang Haibo (黒竜江省計量検定測試院,哈爾浜黒竜江,150036) ,  Tang Yangchao (哈爾浜工業大学超精密光電儀器工程研究所,哈爾浜黒竜江,150001) ,  Kuang Ye (哈爾浜工業大学超精密光電儀器工程研究所,哈爾浜黒竜江,150001)
資料名： Cekong Jishu  (Cekong Jishu)
巻： 36  号： 10  ページ： 79-83,88  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2879A  ISSN： 1000-8829  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： インダクタンス変位キャリブレーション装置のキャリブレーション精度,キャリブレーション範囲,および動的周波数応答を改善するために,マクロ/マイクロ運動制御方式を用いて,キャリブレーション装置を駆動するために,高速,精密,広い範囲の位置決めを行った。キャリブレーション法の動作原理と構造を簡単に述べた後、静圧二重Vレール/リニアモータを組み合わせたマクロ運動プラットフォームおよびフレキシブルヒンジ/圧電セラミックを組み合わせた微動プラットフォームに対して動力学モデリングを行い、マクロマクロプラットフォームの伝達関数を獲得した。2つの制御戦略に基づいて,マクロ運動とマクロ運動の両方の制御戦略を設計し,そして,2つの制御戦略の下での測定結果を比較して,解析した。. . . . 2の制御戦略について比較した,そしてそれらの理由を分析した。最後に,実験装置を設計し,キャリブレーション装置の性能試験を行った。.. . . 1の実験結果は以下のことを示している。マクロ運動追従制御戦略は,より高い動的周波数応答性能を持ち,そして,較正装置は,20mmの分解能で,5mmの分解能を持ち,そして,動的周波数応答は,0.05Hzの周波数応答において,100Hzに達することができ,そして,インダクタンスセンサの静的および動的較正要求を満たすことができた。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高速度 ,  圧電セラミック ,  リニアモータ ,  周波数応答 ,  静圧 ,  性能試験 ,  伝達関数 ,  レール ,  *運動制御 ,  追従制御 ,  制御方式 ,  *インダクタンス ,  分解能
準シソーラス用語： 制御戦略 ,  動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： macro/micro control ,  calibration device ,  inductive sensor calibration ,  dynamic modeling ,  dynamic and static calibration

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： マクロ ,  運動制御 ,  キャリブレーション