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文献
J-GLOBAL ID:201802222007703514   整理番号:18A0910760

導電性ハードコート膜としてのフィルタードアーク蒸着による窒素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の作製

Fabrication of nitrogen-containing diamond-like carbon film by filtered arc deposition as conductive hard-coating film
著者 (18件):
資料名:
巻: 57  号: 1S  ページ: 01AE07.1-01AE07.5  発行年: 2018年01月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜  ,  炭素とその化合物 

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