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J-GLOBAL ID:201802222144737167   整理番号:18A1699624

ベイズ最適化を用いたSiC研削条件の探索

著者 (16件):
資料名:
巻: 79th  ページ: ROMBUNNO.20p-221C-10  発行年: 2018年09月05日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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半導体の結晶成長  ,  固体デバイス材料 
タイトルに関連する用語 (4件):
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