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J-GLOBAL ID：201802222232788294   整理番号：18A1378312

P-8:トップIGZO層を持つa-IGZO TFTにおける有効チャネル長の解析【JST・京大機械翻訳】

P-8: The Analysis of Effective Channel Length in a-IGZO TFTs with the Top IGZO layer

著者 (6件)： Han Won Il (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea) ,  Choi Dong Hyuk (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea) ,  So Hyun Wook (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea) ,  Lee Wa Ryong (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea) ,  Baek Jung Woong (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea) ,  Choi Hoon (LG Display Co., Ltd., Panel Center, Paju-si, Gyeonggi-do, 413-779, South Korea)
資料名： Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display)  (Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display))
巻： 49  号： 1  ページ： 1215-1218  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0907A  ISSN： 0097-966X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： a-IGZO単層と二層の有効チャネル長(L_eff)を調べた。I-V曲線において,ドレイン誘起障壁低下(DIBL)現象は単一層では激しいように見えたが,Bi層では比較的改善された。これに基づいて,伝送線路法(TLM)を通して有効チャネル長を決定し,Bi層の有効チャネル長が長いことを確認した。3.5から8.5μmまでの各設計長さに対する閾値電圧変化は,Bi層においても小さかった。XPS分析の結果は,これがTiによる酸素分解に起因することを示した。Gaに富む上部層を持つBi層では,酸素分解現象による高伝導領域が減少した。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 上層 ,  チタン ,  X線光電子分光法 ,  非晶質 ,  *ビスマス ,  伝送線路 ,  酸化物 ,  単一層 ,  酸素 ,  ガリウム ,  X線光電子スペクトル
準シソーラス用語： 閾値電圧 ,  DIBL ,  二層 ,  *チャネル長 ,  *酸化インジウム・ガリウム・亜鉛 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 非晶質インジウム-ガリウム-亜鉛-酸化物(a-IGZO)TFT ,  a-IGZO二層 ,  実効チャネル長 ,  酸素分解効果

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (5件)： トップ ,  IGZO ,  TFT ,  チャネル長 ,  解析