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J-GLOBAL ID：201802222530577064   整理番号：18A1417265

ダイシングした圧電素子を用いる気相複合探触子の開発

著者 (5件)： 辻俊宏 (東北大) ,  北原大太朗 (東北大) ,  田中康弘 (東北大) ,  小原良和 (東北大) ,  三原毅 (東北大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 30  号： 4  ページ： 80-84  発行年： 2018年08月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・ダイシングした圧電素子柱のアレイを用いた気相コンポジット接触子を試作して,気相コンポジット接触子の設計指針を検討。
・試作した接触子は,まずソフト系PZTセラミック20×20×4.1mmを厚さ5mmのAl板にエポキシ接着剤を用いて接合。
・次に,厚さ1.0mmのダイヤモンドソーを用いて2mmの間隔でダイシングすることで,断面が0.9×0.9mmでアスペクト比が3.6の圧電素子からなる10×10の圧電素子柱のアレイを作製。
・空中送信された周波数は,圧電素子柱間の空隙における空気の共振により説明できる可能性があることを記述。

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *アレイ ,  *探触子 ,  *非破壊検査 ,  *超音波 ,  システム ,  音響インピーダンス ,  インピーダンス整合 ,  変位 ,  スペクトル ,  空気 ,  共振 ,  周波数 ,  *超音波探傷 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *空中超音波 ,  振幅スペクトル ,  表面変位 ,  *計測器要素
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  設計指針 ,  *超音波探触子

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイシング ,  圧電素子 ,  気相 ,  探触子 ,  開発