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J-GLOBAL ID：201802222588662201   整理番号：18A1358037

プラズマ支援化学蒸着及び還元により合成したTiO_x(0<x<2)の構造,酸素空孔及び磁気特性【JST・京大機械翻訳】

The structure, oxygen vacancies and magnetic properties of TiO_x (0 < x < 2) synthesized by plasma assisted chemical vapor deposition and reduction

著者 (6件)： Ren Shuxia (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China) ,  Tang Lingzhi (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China) ,  Sun Qiang (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China) ,  Li Zhenhua (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China) ,  Yang Huifang (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China) ,  Zhao Jinjin (School of Material Science and Engineering, Shijiazhuang Tiedao University, Shijiazhuang City 050043, China)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 228  ページ： 212-215  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ支援化学蒸着(PECVD)により,TiO_2薄膜を蒸着し,プラズマ支援還元により,TiO_x(0<x<2)薄膜を合成した。薄膜の微細構造と形態をSEMとTEMで測定した。結晶化をX線回折計により特性化し,表面化学状態をXPSにより決定した。構造フィンガープリントをRaman分光法により観察し,磁気特性を2Teslaまでの磁場における振動試料磁力計により決定した。結果は,プラズマ還元がTiO_x薄膜における酸素空格子点をもたらすことができることを示した。それは薄膜の磁気特性に及ぼす大きな影響をもたらすことができた。より高い濃度の酸素空孔はより大きな強磁性挙動をもたらした。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 回折 ,  強磁性 ,  結晶化 ,  磁場 ,  *プラズマ ,  薄膜 ,  微細構造 ,  *磁気的性質 ,  *磁気 ,  キャラクタリゼーション ,  *プラズマCVD ,  Raman分光法 ,  界面化学 ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： *酸素空格子点 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  ナノ結晶 ,  回折 ,  磁気 ,  微細構造

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ支援化学蒸着 ,  還元 ,  酸素空孔 ,  磁気特性