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J-GLOBAL ID:201802222630089492   整理番号:18A1805397

誘電体表面に衝突する大気ナノ秒パルスヘリウムプラズマジェットに及ぼす添加物としての酸素の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of oxygen as additive on an atmospheric nanosecond pulsed helium plasma jet impinging on a dielectric surface
著者 (3件):
資料名:
巻: 124  号: 12  ページ: 123301-123301-11  発行年: 2018年 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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2D軸対称プラズマ流体モデルに基づいて,ジェット軸に垂直な誘電体表面に入射する大気圧Heプラズマジェットのプラズマ動力学に及ぼすO_2混合物のレベルの影響を研究した。原料ガス中のO_2混合物の導入は,リングから固体ディスクへのターゲット表面に近づく放電イオン化速度の形状を変化させる。ストリーマが誘電体表面に沿って半径方向伝搬を消滅させると,比較的大きなプラズマ-表面接触面積が純He中の放電に対するよりも0.5%以下のHeプラズマへのO_2添加に対して得られ,一方,2%O_2の場合には半径方向伝搬距離は著しく低下した。イオン化波の伝搬はO_2混合物に対して0.2%~1%の範囲でピークに達した。増強されたイオン化反応は,添加剤としてのO_2の低濃度を支配すると考えられ,励起エネルギー損失とO_2への電子の付着による負の役割は,2%O_2の添加でより重要である。表面中心上のOのフラックス強度に顕著な増分利得があったが,Nのフラックスは主にストリーマヘッド上に集中した。表面上のOフラックスの大きさは0.5%O_2混合物レベルでピークを示し,表面上のO_3のフラックスはO_2濃度に直接比例した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ応用  ,  半導体の表面構造 

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