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J-GLOBAL ID：201802222740341241   整理番号：18A2122430

動力学校対に基づくサンドイッチシートチップ設計製造【JST・京大機械翻訳】

Design and fabrication of sandwich-structure thin-film chip based on kinetic proofreading

著者 (3件)： Ye Jiajia (東南大学机械工程学院江蘇省微納生物医療器械設計与制造重点実験室,江蘇南京,211189) ,  Ling Xinsheng (東南大学机械工程学院江蘇省微納生物医療器械設計与制造重点実験室,江蘇南京,211189) ,  Yuan Zhishan (東南大学机械工程学院江蘇省微納生物医療器械設計与制造重点実験室,江蘇南京,211189)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 37  号： 9  ページ： 67-70  発行年： 2018年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ダイナミック学校のメカニズムに基づく固体ナノホールシーケンシング技術に基づき、新しい構造のナノホールチップを設計し、窒化ケイ素/酸化ケイ素/窒化ケイ素(Si3N4/SiO2/Si3N4)サンドイッチ構造層の上に、SiO2/Si3N4ダブル犠牲層を加えた。膜の応力を減少すると同時に、コンデンサの増量により、シーケンシングノイズを有効に低減でき、熱応力の計算により各層の薄膜の厚さを確定し、生産過程での薄膜の破裂を避けることができる。低圧力化学蒸着(LP-CVD),多重リソグラフィー,反応性イオンビームエッチング(RIE),および湿式エッチングを含む,ナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)を用いて,高品質の中空サンドイッチ構造の薄膜を得た,そして,それは,低圧力化学蒸着(LP-CVD),多重リソグラフィー,反応性イオンビームエッチング(RIE),および湿式エッチングを含む。さらに、この工程で作製した薄膜に対して集束イオンビーム(FIB)エッチングを行い、Chao社のヘリウムイオン顕微鏡で直径約5nmのナノポアを得た。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  ヘリウム ,  窒化ケイ素 ,  薄膜 ,  生産工程 ,  ウェットエッチング ,  化学蒸着 ,  コンデンサ ,  リソグラフィー ,  *エッチング ,  多重化
準シソーラス用語： ナノ細孔 ,  NEMS ,  犠牲層 ,  ナノホール , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 動力 ,  学校 ,  設計