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J-GLOBAL ID：201802222950556292   整理番号：18A1507412

特定領域におけるターゲット利用のための外部リング型高周波磁化プラズマ源【JST・京大機械翻訳】

Outer Ring-Shaped Radio Frequency Magnetized Plasma Source for Target Utilization in Specific Area

著者 (2件)： Hossain Md. Amzad (Department of Electrical and Electronic Engineering, Jessore University of Science and Technology, Jessore, Bangladesh) ,  Ohtsu Yasunori (Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Science and Engineering, Plasma Electronics Laboratory, Saga University, Saga, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 46  号： 8  ページ： 2894-2900  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量的に結合した高周波外部リング形磁化プラズマ放電を,特定の領域,特にチャンバー壁近くのターゲットを侵食するために,磁石の同心的単極配置を用いて提案した。中心磁石と磁石による3つの同心単極子磁石配置。1)3円;2)2円;そして,1つの円を調査した。磁束線プロファイルから,ターゲット表面に平行な成分における磁束密度は,すべてのセットに対して磁石の外部円においてピークの大きさを有することが分かった。特定の外部領域におけるリング状プラズマが観察された。イオン飽和電流,I_isatは,r=47mm,r=0mmがターゲットの中心であるr=47mmにおいて,それぞれ0.6,0.79,および0.46mAであった。I_isatは,セット1)のためのチャンバー壁の近くの外部ターゲット領域において非常に高くて,2)セットアップ3のためのI_isatがゆっくりと減少することを見つけた。結果は,ターゲット利用が排出チャンバー壁の近くの外部の特定の区域において制御することができることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  磁石 ,  単極子 ,  磁束密度 ,  *磁化プラズマ ,  *HF【周波数】 ,  *磁化 ,  磁束 ,  イオン飽和電流 ,  チャンバ ,  プラズマ放電

分類 (1件)： 核融合装置  (BJ02083Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： ターゲット ,  高周波 ,  磁化プラズマ