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J-GLOBAL ID：201802223680929686   整理番号：18A2205498

金属・半導体のアノード酸化研究の最前線 チタニアナノチューブのデバイス応用

著者 (1件)： 庭野道夫 (東北福祉大 感性福祉研)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 69  号： 12  ページ： 605-608  発行年： 2018年12月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・アノード酸化チタニアナノチューブの形状制御・機能化,デバイス応用のためのハイブリッドプロセス,デバイス応用について解説。
・ナノチューブの形成には,アノード酸化前の金属薄膜を緻密な規則配列構造とすること,不規則構造が抑制される最適な電解液組成条件でアノード酸化することが重要。
・リソグラフィ技術に代表されるトップダウンプロセスと自己組織化現象を活用したアノード酸化法のボトムアッププロセスを融合したハイブリッドプロセスを開発。
・デバイス応用として,チタニアナノチューブ型色素増感型太陽電池,チタニアナノチューブ内壁に有機層を充填した有機-無機ハイブリッド太陽電池,ナノチューブ型ガスセンサ,ナノバブル発生器を紹介。

シソーラス用語： ナノチューブ ,  酸化チタン ,  電極材料 ,  *陽極酸化皮膜 ,  形状制御 ,  電解液 ,  配列 ,  自己組織化 ,  リソグラフィー ,  *太陽電池 ,  有機-無機ハイブリッド ,  ガスセンサ ,  気泡 ,  *チタニアナノチューブ ,  規則配列 ,  色素増感太陽電池 ,  ウルトラファインバブル ,  サーボ制御
準シソーラス用語： 陽極酸化膜 ,  高機能化 ,  ハイブリッドプロセス ,  色素増感型太陽電池 ,  ナノバブル

分類 (2件)： 化成処理  (WC08050J) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (11件)：

• 1)Y. Kimura, H. Shiraki, K-I. Ishibashi, H. Ishii, K. Itaya, M. Niwano ; J. Electrochem. Soc., 153, C296(2006).
• 2)K. Ishibashi, R. Yamaguchi, Y. Kimura, M. Niwano ; J. Electrochem. Soc., 155, K10(2008).
• 3)R. Kojima, Y. Kimura, M. Bitoh, M. Abe, M. Niwano ; J. Electrochem. Soc., 159, D629(2012).
• 4)Y. Kimura, K. Itoh, R. Yamaguchi, K. Ishibashi, K. Itaya, M. Niwano ; Appl. Phys. Lett., 90,(9), 093119(2007).
• 5)T. Ma, Q. Zhang, D. Tadaki, A. Hirano-Iwata, M. Niwano ; J. Phys. Chem. Lett., 8, 720(2017).

タイトルに関連する用語 (4件)： アノード酸化 ,  研究 ,  チタニアナノチューブ ,  応用