文献

J-GLOBAL ID：201802223735827253   整理番号：18A1300257

1気圧で大気中で出現する非平衡ヘリウムプラズマジェットにおける励起機構【JST・京大機械翻訳】

Excitation mechanisms in a nonequilibrium helium plasma jet emerging in ambient air at 1 atm

著者 (4件)： Nguyen Tam (Plasma Processing Laboratory, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, University of Houston, Houston, Texas 77204) ,  Hernandez Eduardo (Plasma Processing Laboratory, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, University of Houston, Houston, Texas 77204) ,  Donnelly Vincent M. (Plasma Processing Laboratory, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, University of Houston, Houston, Texas 77204) ,  Economou Demetre J. (Plasma Processing Laboratory, Department of Chemical and Biomolecular Engineering, University of Houston, Houston, Texas 77204)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36  号： 4  ページ： 04F406-04F406-11  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1気圧の開放空気中に出現するヘリウム200kHz高周波(RF)プラズマジェットにおいて,発光分光法を用いて化学種励起機構を研究した。ジェットはMgF_2または石英の誘電体基板上に衝突した。115と950nmの間の光学的発光を,基板表面近くの領域から発生する放出を分離するために,ジェット軸に沿った基板または急峻な角度において記録した。時間分解発光は,印加RF電圧の正ピーク付近の短い期間にのみ基板表面に近く観測された。ピーク負電圧の直前のN_2(C3Π_u→B~3Π_g)からの弱い放出を除いて,基板に近い放出は負の電圧の間に観察されなかった。He供給における不純物からの放出軸に沿ったN_2+,H,O,OH,およびNO放出,およびチューブ(ノズル)の端の下流のHeジェットへの空気拡散は,He準安定(He*)によるN_2のPenningイオン化と水およびO_2の解離励起によって支配された。N_2とHeからの完全変調電子衝撃励起発光とは異なり,He*との衝突により生成された発光はRF期間中に弱く変調され,ピーク正またはピーク負電圧に関して位相シフトした。これは大気圧の放射捕獲環境における真空紫外放射に起因し,プラズマが管内に閉じ込められた時でも放電管の外側にHe*を生成した。N_2放出は,ピーク正電圧の前に,正の電圧期間の間,弱いイオン化波動伝搬を明らかにした。ピーク正電圧では,ノズルと基板間のギャップにおけるイオン化と励起が最大になった。プラズマは基板を正に帯電させ,負の電圧期間中に観測された短いN_2放出をもたらし,電子が基板に向かってドリフトして正電荷を中和した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 不純物 ,  位相シフト ,  電圧 ,  発光 ,  *非平衡状態 ,  紫外線 ,  *励起 ,  *プラズマジェット ,  波動伝搬 ,  石英 ,  *ヘリウム ,  イオン化 ,  HF【周波数】 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： 負電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 気圧 ,  大気中 ,  非平衡 ,  ヘリウムプラズマ ,  ジェット ,  励起