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J-GLOBAL ID：201802223956283520   整理番号：18A1370877

IC製造のR&D方向を導く新しい方法:知識統合イノベーションからの展望

A NOVEL METHOD GUIDING IC MANUFACTURING R&D DIRECTION: PERSPECTIVE FROM KNOWLEDGE INTEGRATION INNOVATION

著者 (2件)： NIU Han-Jen (Tamkang Univ., New Taipei City, TWN) ,  CHANG Chao-Jung (Marketech International Corp., Hsinchu City, TWN)
資料名： International Journal of Innovative Computing, Information and Control  (International Journal of Innovative Computing, Information and Control)
巻： 14  号： 4  ページ： 1371-1388  発行年： 2018年08月 
JST資料番号： F1199A  ISSN： 1349-4198  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積回路(IC)製造には複雑なプロセスを伴い,完成までに数カ月を要することがある。数千のメッセージが各プロセスの間に生成され,ほとんどのメッセージが容易に同定され,分析される。しかしながら,あいまいな情報は,R&D管理の最も重要な問題の1つである一種の暗黙知識として残っている。統合イノベーションは,複雑なプロセスへの科学的/技術的な創造的解決策の応用である。本研究では,台湾北部の新竹サイエンスパークにおける半導体企業の事例を用いた。従来の方法は,明示的な知識から推論された結果をもたらすだけであり,暗黙の知識に基づく結果を省略する。統合された方法は,仮想センサとして多変量統計解析を使用する研究開発のための明確な方向として指定することができた。Hotelling T2と主成分分析(PCA)を行うことにより,高密度プラズマ化学蒸着(HDP CVD)装置またはプロセスのコアに対応する特定の結果を生成するために,12インチのファブにおける経験評価を用いて不正確な情報を除去した。このことは,R&D技術者を導き,全プロセスを照明するアプローチを提供する。要約すると,プロセス安定化とコスト削減の両方が仮想センサの主な利点である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *製造 ,  管理 ,  *センサ ,  技術革新 ,  多変数系 ,  統計解析 ,  主成分分析 ,  *統合
準シソーラス用語： *IC製造 ,  イノベーション ,  *仮想センサ ,  研究開発管理 ,  多変量 ,  *知識統合

分類 (1件)： 生産工学一般  (KB01000U)

引用文献 (50件)：

• G. L. Adams and B. T. Lamont, Knowledge management systems and developing sustainable competitive advantage, Journal of Knowledge Management, vol.7, no.2, pp.142-154, 2003.
• A. Alaei, J. Shafass, A. Ariana and T. S. Maghvan, The role of knowledge management in created organizational innovation, Journal of Basic and Applied Scientific, vol.2, no.2, pp.1136-1141, 2012.
• P. Albertos and G. C. Goodwin, Virtual sensors for control application, Annual Reviews in Control, vol.26, no.1, pp.101-112, 2002.
• M. M. Alegre, M. H. Knowles, R. A. Robison and K. L. O’Nell, Mechanics behind breast cancer prevention - Focus on obesity, exercise and dietary fat, Asian Pacific Journal of Cancer Preview, vol.14, no.4, pp.2207-2212, 2013.
• R. Balachandra and K. L. Brockhoff, Are R&D project termination factors universal?, Research Technology Management, vol.38, no.4, pp.31-36, 1995.

タイトルに関連する用語 (5件)： IC製造 ,  R&D ,  知識統合 ,  イノベーション ,  展望