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J-GLOBAL ID：201802223999954493   整理番号：18A1900141

SCARAに基づくウエハハンドリングロボットの運動シミュレーションに関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Motion Simulation of Wafer Handling Robot Based on SCARA

著者 (9件)： He Yunbo (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Jiajun (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Gao Jian (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Cui Chengqiang (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Yang Zhijun (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Xun (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Yun (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Zhang Kai (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Tang Hui (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ICEPT  ページ： 734-739  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体製造プロセスでは,ウエハハンドリングロボットがキーデバイスとなっている。移動プロセスの安定性と再現性は製造品質に直接的あるいは間接的に影響する。本論文では,ウエハハンドリングロボットを研究するためにSCARA(選択的コンプライアンス組立ロボットアーム)の構造に焦点を合わせた。ロボットの運動特性を分析するために,ウエハ移動ロボットのリンク座標系をD-H理論に従って確立した。そして,その順方向と逆運動学方程式を推論し,計算した。得られた運動学モデルに従って,ウエハ操作ロボットの作業領域を,モンテカルロ法を用いて解決することができた。MATLABソフトウェアを用いて,ロボット運動のシミュレーションを解析し,ロボット関節の運動を直観的に示し,ロボット関節の連続的で滑らかな角度軌道曲線を得た。これにより,ウエハハンドリングロボットの動的モデリングをLagrange法を用いて行った。動力学は主に力と運動の間の関係を研究する。ロボットの運動を計画するとき,ロボットの電力システムの限界を完全に考慮することができて,モーターを損傷することなく必要な軌道に計画することができた。そして,ロボットの力解析を行った。本論文によって行われた研究は,ウエハハンドリングロボットの設計プロセスに対して,一定の案内重要性を持っている。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ロボットアーム ,  コンプライアンス ,  半導体プロセス ,  *シミュレーション ,  *ロボット ,  再現性 ,  電動機 ,  作業空間 ,  移動ロボット ,  ソフトウェア ,  品質 ,  モンテカルロ法
準シソーラス用語： 動的モデリング ,  MATLAB ,  逆運動学 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 運動 ,  シミュレーション ,  研究