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J-GLOBAL ID：201802224616449743   整理番号：18A0813923

熱フィラメント化学蒸着により成長させた窒素を取り込んだダイヤモンド薄膜のRaman散乱【JST・京大機械翻訳】

Raman scattering of nitrogen incorporated diamond thin films grown by hot filament chemical vapor deposition

著者 (4件)： Kuntumalla Mohan Kumar (Schulich Faculty of Chemistry, Technion-Israel Institute of Technology, Haifa 32000, Israel) ,  Elfimchev Sergey (Schulich Faculty of Chemistry, Technion-Israel Institute of Technology, Haifa 32000, Israel) ,  Chandran Maneesh (Department of Physics and Nanotechnology, SRM Institute of Science and Technology, Kattankulathur Campus, Chennai, India) ,  Hoffman Alon (Schulich Faculty of Chemistry, Technion-Israel Institute of Technology, Haifa 32000, Israel)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 653  ページ： 284-292  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温フィラメント化学蒸着システムにおいてNH_3/CH_4/H_2ガス混合物を用いて成長させた窒素組込み多結晶ダイヤモンド薄膜の詳細なRaman散乱解析を提示した。これらの膜における窒素結合配置を理解するために,ガス混合物中のH_2をD_2に置き換えることにより,ダイヤモンド膜を成長させた。1190cm-1で観測されたRamanピークは,ガス混合物中のD_2によるH_2の置換により,830cm-1への同位体シフトを示した。現在のRaman分析により,1190cm-1のピークはCNHに帰属される。二次イオン質量分析は,アニールしたダイヤモンド薄膜のサブ表面領域における窒素の存在を明らかにした。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多結晶 ,  *フィラメント ,  *Raman散乱 ,  混合気体 ,  *窒素 ,  高温 ,  *化学蒸着 ,  同位体シフト
準シソーラス用語： *ダイヤモンド膜 ,  *HFCVD , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： Nドープダイヤモンド薄膜 ,  Raman分光法 ,  化学蒸着

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱フィラメント化学蒸着 ,  成長 ,  窒素 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  Raman散乱