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J-GLOBAL ID：201802224885620594   整理番号：18A1039723

反発力を用いたパラメトリック静電共振器【JST・京大機械翻訳】

A parametric electrostatic resonator using repulsive force

著者 (2件)： Pallay Mark (Binghamton University Mechanical Engineering Department, 4400 Vestal Parkway East, Binghamton, NY 13902, United States) ,  Towfighian Shahrzad (Binghamton University Mechanical Engineering Department, 4400 Vestal Parkway East, Binghamton, NY 13902, United States)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 277  ページ： 134-141  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,反発力静電共振器のパラメトリック励振を研究した。理論モデルを開発し,実験データにより検証した。モデルのMathieu方程式への対応を行い,パラメトリック共鳴の存在と位置を証明した。反発力は,2倍の固有振動数で駆動されるとき,パラメトリックおよび分数調波共振を示す結合応答を生成する。共振器は約24μmの大きな振幅を達成でき,電極上でのタッピングの間に動的に安定なままである。プルイン不安定性は排除されるので,ビームは電極への付着の代わりに衝撃後に跳ね返る。これにより,従来の静電駆動では可能でない,より大きな安定な軌跡が生成される。大きなダイナミックレンジは,大きな信号対雑音比を必要とするMEMS共振器にとって魅力的である。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： MEMS ,  軌跡 ,  固有振動数 ,  Mathieu方程式 ,  *斥力 ,  モデル ,  衝撃 ,  *共振器 ,  ダイナミックレンジ ,  *共振 ,  分数調波
準シソーラス用語： 静電駆動 ,  タッピング ,  パラメトリック共鳴 ,  パラメトリック励振 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  パラメトリック共鳴 ,  反発力 ,  静電 ,  ビーム

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 反発力 ,  共振器