抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,精密加工技術では,加工形状の複雑化や加工精度の向上の進行に伴い,工具干渉の問題が顕在化している。そこで本研究では,ピンニング効果などの超伝導現象を利用した磁気浮上工具を適用した研磨プロセスに適用した。この研磨法では磁気浮上工具の位置制御を行うことで,工具干渉の問題の軽減が可能である。本研究ではピンニング効果によって磁気浮上工具が空中で初期位置に復元する力(以後,引力と記載)を計測した。その結果,引力は超伝導バルクと磁気浮上工具の距離が近いほど増加した。ここでは引力が磁気浮上工具と超伝導バルク間の変位が4mmまで増加し,6mmまで一定であった。次に,固定砥粒パッドを用いて研磨圧力と回転数の影響について評価した結果,研磨圧力および回転数が高くなるにつれ,研磨量が増加した。(著者抄録)