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J-GLOBAL ID：201802226092809523   整理番号：18A2005493

モード剛性解析に基づくバタフライ共振器における直交補償の新しい方法【JST・京大機械翻訳】

A novel method of quadrature compensation in the butterfly resonator based on modal stiffness analysis

著者 (6件)： Miao Tongqiao (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Ou Fenlan (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Xu Qiang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Hou Zhanqiang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Wu Xuezhong (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  Xiao Dingbang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China)
資料名： AIP Advances (Web)  (AIP Advances (Web))
巻： 8  号： 10  ページ： 105025-105025-13  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7121A  ISSN： 2158-3226  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バタフライジャイロスコープは製造が簡単で,ユニークな構造のために高感度のMEMSジャイロスコープの一種と考えられている。実際には,作製の不完全性が共振器における非理想的な形状をもたらし,それが次に直交誤差を引き起こす。直交誤差は,ゼロ速度出力(ZRO),検出分解能およびダイナミックレンジのような,MicroおよびNanoスケールにおけるセンサの性能に大きな影響を及ぼす。しかし,共振器の機械的パラメータが未知であるという事実(製作の変動,温度と時効によるゆらぎ)は重大な挑戦を引き起こす。本論文では,静電同調によるバタフライ共振器における直交補償の簡単ではあるが効果的な方法を示した。バタフライジャイロスコープにおける直交誤差の理論計算を行い,直交補償の数学モデルを確立した。次に,シミュレーション解析を実施して,直交誤差の機構と直交補償の方法をさらに解析した。また,同じシリコンウエハ上に作製した5つのバタフライジャイロスコープを直交補償の実験のために選択し,バタフライジャイロスコープのZROは直交相殺により2桁まで改善し,バタフライジャイロスコープにおける直交補償に対する提案手法の実現可能性を示した。最後に,直交誤差を抑制するために必要な直流電圧V_Tを減少させる方法を検討した。さらに,この方法はバタフライジャイロスコープに適しているだけでなく,マイクロとナノスケールの他のセンサにも適用できる。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ダイナミックレンジ ,  ゆらぎ ,  シミュレーション ,  *直交性 ,  高感度 ,  *共振器 ,  数学モデル ,  不整 ,  同調 ,  分解能 ,  センサ ,  ジャイロスコープ ,  *剛性
準シソーラス用語： ナノスケール ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力学  (BA04000D) ,  操縦・制御系統  (QK05020Z) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 剛性 ,  解析 ,  バタフライ ,  共振器 ,  補償