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J-GLOBAL ID：201802226102126188   整理番号：18A1035093

低電力H_2検出のためのCMOSマイクロホットプレート上のPd負荷SnO_2ナノファイバーの電気流体力学的インクジェット印刷【JST・京大機械翻訳】

Electrohydrodynamic inkjet printing of Pd loaded SnO₂ nanofibers on a CMOS micro hotplate for low power H₂ detection

著者 (5件)： Wu Hao (Faculty of Electronic Information and Electronic Engineering, Key Lab. of Liaoning for Integrated Circuits Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Yu Jun (Faculty of Electronic Information and Electronic Engineering, Key Lab. of Liaoning for Integrated Circuits Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Cao Rui (Faculty of Electronic Information and Electronic Engineering, Key Lab. of Liaoning for Integrated Circuits Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Yang Yinghua (Faculty of Electronic Information and Electronic Engineering, Key Lab. of Liaoning for Integrated Circuits Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Tang Zhenan (Faculty of Electronic Information and Electronic Engineering, Key Lab. of Liaoning for Integrated Circuits Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China)
資料名： AIP Advances (Web)  (AIP Advances (Web))
巻： 8  号： 5  ページ： 055307-055307-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7121A  ISSN： 2158-3226  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気流体力学(EHD)インクジェット印刷技術により,高性能低出力マイクロホットプレート(MHP)水素センサを作製した。250~850nmの長さを有する電気紡糸Pd担持SnO_2ナノファイバーを,100μm×100μmの面積を有するMHPの懸濁中央部に正確に印刷した。印刷システムにおけるプリントヘッドは110μmの内径を有する低コストの金属針であり,それはナノ繊維による閉塞を防ぐのに十分大きかった。印刷プロセスは高速カメラで観察した。直径50~80μmの小液滴を,金属針に高電圧を供給することにより,各放出で作製した。著者らの実験で用いたブリッジ型MHPは液滴へのその結合効果により位置決め精度を促進できることが分かった。ガス検知測定において,Pd負荷SnO_2 MHPガスセンサは,わずか9.1mWの低電力でH_2に対して顕著な応答を示した。実験結果は,MHPガスセンサまたはセンサアレイの効果的な大量製造を実現するためのEHDインクジェット印刷技術の優れた妥当性を実証した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 印字ヘッド ,  *電気流体力学 ,  液滴 ,  ガスセンサ ,  *インクジェット印刷 ,  センサアレイ ,  エレクトロスピニング ,  懸濁液 ,  *印刷 ,  *ナノファイバ ,  内径 ,  高速度カメラ
準シソーラス用語： *インクジェット ,  低出力 ,  *低電力化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低電力 ,  CMOS ,  ホットプレート ,  Pd ,  ナノファイバー ,  電気流体力学 ,  インクジェット印刷