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J-GLOBAL ID:201802226118804728   整理番号:18A0431230

UVヒドロシリル化とその自己潤滑特性によるシリコン上の多重アルキル化シクロペンテン類の自己組織化単分子層【Powered by NICT】

Self-assembled monolayer of multiply-alkylated cyclopentenes on silicon via UV-induced hydrosilylation and its self-lubricating properties
著者 (6件):
資料名:
巻: 228  ページ: 74-83  発行年: 2018年 
JST資料番号: T0553A  ISSN: 0921-5107  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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水素終端シリコン(100)(H Si100)基板上に容易なUV誘起ヒドロシリル化を経由する多重アルキルシクロペンテン(MACEs)の自己集合単分子層(SAM)を作製することによって確立した新しい自己潤滑戦略。表面特性(静的接触角と表面粗さ)とトライボロジー特性(摩擦低減と耐摩耗性)に及ぼすUV誘起ヒドロシリル化時間の影響を調べた。結果は6分のUV誘起ヒドロシリル化時間は低い摩擦係数と長いトライボロジー耐久性に優れた自己潤滑膜で十分であることを示した。提案した自己潤滑法は,ミクロ/ナノ電気機械システム(MEMSs/NEMSs)の潤滑での応用が期待される。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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半導体の格子欠陥  ,  半導体結晶の電気伝導 

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